[发明专利]基于仿生学的圆偏振检测集成器件及其制作方法有效
申请号: | 202110885189.7 | 申请日: | 2021-08-03 |
公开(公告)号: | CN113589418B | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 许明珠;孙晓婕;曹焱;高秀敏 | 申请(专利权)人: | 上海理工大学 |
主分类号: | G02B5/30 | 分类号: | G02B5/30;G03F7/00;G01J4/00 |
代理公司: | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人: | 李庆 |
地址: | 200093 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种基于仿生学的圆偏振检测集成器件及其制作方法,其中器件包括自下而上依次层叠的一透光基底、一金属光栅、一透光介质层和一超表面阵列;所述超表面阵列包括阵列排布的多个单元晶胞,每一所述单元晶胞包括一第一菱形结构、一第二菱形结构和一第三菱形结构;所述第一菱形结构、所述第二菱形结构和所述第三菱形结构的一对角线在同一直线上,且所述第一菱形结构和所述第三菱形结构部分堆叠重合在所述第二菱形结构内。本发明的一种基于仿生学的圆偏振检测集成器件及其制作方法,使器件在近红外波段较宽范围内都具有较高的透射率和高的消光比。 | ||
搜索关键词: | 基于 仿生学 偏振 检测 集成 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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