[发明专利]一种阴极电弧涂层靶材装置在审
| 申请号： | 202110886258.6 | 申请日： | 2021-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN113403590A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 陈强;张而耕;周琼;黄彪;梁丹丹;张帆;孙思叡;孙国庆;李朝明 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术大学;上海名古屋精密工具股份有限公司;上海离原环境科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200235 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种阴极电弧涂层靶材装置，依次互相贴合设置有导电组件、第一绝缘组件、靶材板框、绝缘板、冷却板、导热板和涂层靶材；导电组件与冷却板之间设有电连接组件，导电组件连接外部电极，并通过电连接组件、冷却板和导热板与涂层靶材电连接；导电组件和冷却板分别通过第一绝缘组件和绝缘板与靶材板框绝缘；冷却板、导热板和涂层靶材的周侧设有用于与靶材板框绝缘的第二绝缘组件；冷却板靠近导热板的一表面上设有流槽，流槽与导热板之间形成流体通道，靶材板框和冷却板上设有连通外部和流体通道的进液通道和出液通道；该靶材装置具有靶材利用率高、涂层沉积效率高、冷却效果好、涂层成分均匀及涂层色泽度好的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 电弧 涂层 装置 | ||
【主权项】：
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