[发明专利]一种多传感器融合的压电冷气变推力闭环调控装置有效
| 申请号： | 202110891379.X | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN113738881B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 汪旭东;刘旭辉;李永;姚兆普;高晨光;王平;蒋庆华;付新菊;龙军;宋新河;攸兴杰;耿金越;范旭丰;张恒;吕泰增 | 申请（专利权）人： | 北京控制工程研究所 |
| 主分类号： | F16K1/00 | 分类号： | F16K1/00;F16K1/38;F16K31/02;F16K37/00;B05B1/30 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 高志瑞 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多传感器融合的压电冷气变推力闭环调控装置，包括：外壳、流量传感器、流量传感器前端处理电路、位移传感器、位移传感器前端处理电路、流量传感器气体温度传感器、推力器入口温度传感器、推力器出口温度传感器及压电冷气推力器。本发明采用压电精密驱动、温度、流量传感器交互补偿实现了推力跨流域高精度补偿难题，通过多物理量反馈解决了高精度的推力调控问题。多传感器融合的压电冷气变推力闭环调控模块也是一种高精度流量控制模块，也可以广泛的应用于半导体制造、医疗、生化等高精尖民用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 融合 压电 冷气 推力 闭环 调控 装置 | ||
【主权项】：
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