[发明专利]间歇等离子体氧化方法和装置、太阳电池的制备方法

摘要

本发明实施例提供了一种间歇等离子体氧化方法、TOPCon太阳电池的制备方法、间歇等离子体氧化装置及计算机可读存储介质，其中所述间歇等离子体氧化方法包括：通过激发信号使得等离子体处理腔室内的处理气体等离子体离化，从而使得所述处理腔室内的待处理体氧化而形成氧化物层，其中所述激发信号包括交替进行的开启状态和关闭状态，所述开启状态期间输出脉冲或正弦信号，所述关闭状态期间无功率输出，所述开启状态和所述关闭状态的持续时间大于脉冲或正弦信号周期。