[发明专利]基于隧道磁阻效应和离子电导技术的扫描成像系统及方法在审
| 申请号： | 202110893503.6 | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN113640549A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 庄健 | 申请（专利权）人： | 镇江微纳测控技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01Q60/44 | 分类号： | G01Q60/44;G01N27/48 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李红霖 |
| 地址： | 212000 江苏省镇江市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于隧道磁阻效应和离子电导技术的扫描成像系统及方法，微磁极探针安装于三维运动模块的Z向压电陶瓷上，微磁极探针包括外壁和设置于外壁内并将外壁的内腔划分为第一通道和第二通道的隔板，第二通道内腔的底部设置有磁性物质；离子电流电路的样本电极和TMR传感器均与电流放大器连接，电流放大器与信号发生采集器的AD模块连接，信号发生采集器的DA模块与离子电流电路的样本电极以及探针电极连接；信号发生采集器与主控制器连接，主控制器和三维运动模块与上位机连接。本发明能够扩大扫描探针的反馈区间，解决扫描离子电导检测设备扫描速度慢的问题，大大提高了此类设备的扫描速度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 隧道 磁阻 效应 离子 电导 技术 扫描 成像 系统 方法 | ||
【主权项】：
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