[发明专利]宽温度工作单片多波长高速DFB激光光源外延层结构、芯片及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110895135.9 申请日: 2021-08-05
公开(公告)号: CN113594858B 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 薛正群 申请(专利权)人: 福建中科光芯光电科技有限公司
主分类号: H01S5/343 分类号: H01S5/343;H01S5/34;H01S5/20;H01S5/12;H01S5/042
代理公司: 福州元创专利商标代理有限公司 35100 代理人: 丘鸿超;蔡学俊
地址: 362712 福建省泉州市*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明提出一种宽温度工作单片多波长高速DFB激光光源外延层结构、芯片及其制备方法,其特征在于:在下波导层和上波导层之间设置有应变补偿多量子阱;所述应变补偿多量子阱包括:下部的经第一高温处理的压应变AlGaInAs量子阱、中部的经第二高温处理的压应变AlGaInAs量子阱、以及上部的不经高温处理的压应变AlGaInAs量子阱。其可实现超过工业级温度范围单模工作,并实现在单片上的多波长DFB阵列激光光源,同时可实现不同DFB波长的精确调控,产品可应用在5G无线网、数据中兴等应用领域,提高应用端的集成度并降低应用成本。
搜索关键词: 温度 工作 单片 波长 高速 dfb 激光 光源 外延 结构 芯片 及其 制备 方法
【主权项】:
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