[发明专利]结合强度的测量方法和样品在审
| 申请号： | 202110897020.3 | 申请日： | 2021-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN113776934A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王超;黄思杰;孙明琛;卫晓阳 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08;G01N19/04 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 陈仙子;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种结合强度的测量方法和样品。其中，该测量方法包括：提供待测量样品，至少包括堆叠设置的第一衬底、一层或多层功能层及第二衬底，第一衬底表面的材料与第二衬底表面的材料相同；通过热固型粘接剂，将第一连接件固定在第一衬底表面的第一位置，并将第二连接件固定第二衬底表面与第一位置对应的第二位置；其中，第一连接件的材料与第二连接件的材料相同，且第一连接件的热膨胀系数与第一衬底的热膨胀系数的差值小于预设值；第二连接件的热膨胀系数与第二衬底的热膨胀系数的差值小于预设值；在第一连接件和第二连接件上分别施加相反方向的载荷；利用获得的待测量样品破坏时相对应的载荷的载荷值，分析样品的结合强度。 | ||
| 搜索关键词： | 结合 强度 测量方法 样品 | ||
【主权项】：
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