[发明专利]TiAlN/TiSiNiN复合涂层、硬质涂层及其制备方法与应用有效

专利信息
申请号: 202110898243.1 申请日: 2021-08-05
公开(公告)号: CN113652651B 公开(公告)日: 2022-04-26
发明(设计)人: 林海天;李立升;郑礼伟;陈松;杨恺 申请(专利权)人: 东莞市华升真空镀膜科技有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/50;B23B27/00
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 秦冉冉
地址: 523835 广东省东莞市大岭*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及表面防护技术领域,特别是涉及一种TiAlN/TiSiNiN复合涂层及其制备方法与应用。本发明通过交替沉积TiAlN层和TiSiNiN层形成TiAlN/TiSiNiN复合涂层,并限定各层中各元素的质量百分比及相邻两层TiAlN层及TiSiNiN层的厚度,制得的复合涂层不仅具备TiAlN涂层的高硬度与高耐磨性,还具备了TiSiN涂层的抗高温氧化性;同时,通过引入Ni元素形成金属Ni相,作为界面相包裹在纳米晶相的周围,由于金属Ni相可以起到吸收塑性形变功和断裂功的作用,增强了涂层的断裂韧性。因此,该复合涂层兼具了高硬度、高耐磨性、优异的抗高温氧化性以及断裂韧性,有效提升了氮化钛系涂层的综合性能,并拓宽了应用场景。
搜索关键词: tialn tisinin 复合 涂层 硬质 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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