[发明专利]一种非真空高温太阳能选择性吸收涂层的制备技术有效
| 申请号： | 202110899043.8 | 申请日： | 2021-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN113584432B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 宫殿清;杨鹏;李克伟;崔泽琴;王晓波;韩彦莎 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/08;C23C14/16;C23C14/32;C23C14/54;F24S70/225 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;曹一杰 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非真空高温太阳能选择性吸收涂层的制备技术。这种技术用于非真空高温太阳能选择性吸收涂层的制备。在已有的成熟太阳能选择性吸收涂层基础上，用多弧离子镀工艺制备Cu红外反射层和隔离层，使得涂层可以在500℃以上的非真空环境下长期工作。本发明在加工过程中要求对腔室气压、气体纯度及配比、靶材尺寸及纯度、沉积电流密度、偏压、沉积时间进行严格控制，使得制备过程中各层扩散距离小于10 nm，加工过程中成分保持稳定。本发明具有沉积效率高，对基材适应性强，产品质量稳定性高，能耗低，成本低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 高温 太阳能 选择性 吸收 涂层 制备 技术 | ||
【主权项】：
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