[发明专利]碳化硅膜的共形沉积

摘要

本发明涉及碳化硅膜的共形沉积。本发明公开了用于提供碳化硅膜的方法和系统。碳化硅层可以是在采用一种或多种具有一个或多个硅‑氢键和/或硅‑硅键的含硅前体的工艺条件下提供的。所述含硅前体还可以具有一个或多个硅‑氧键和/或硅‑碳键。处于基本上低能量状态的一种或多种自由基物质可与含硅前体反应以形成碳化硅膜。所述一种或多种自由基物质可在远程等离子体源中形成。