[发明专利]一种物理气相传输法制备Al1 在审
| 申请号： | 202110906254.X | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN113684536A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 吴亮;王琦琨;付丹扬;龚建超 | 申请（专利权）人： | 奥趋光电技术（杭州）有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B23/02;C30B29/38 |
| 代理公司： | 杭州宇信联合知识产权代理有限公司 33401 | 代理人： | 梁群兰 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市余杭区余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种物理气相传输法制备Al |
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| 搜索关键词： | 一种 物理 相传 法制 al base sub | ||
【主权项】：
暂无信息
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