[发明专利]一种椭偏仪实时测量结果优化方法有效
| 申请号： | 202110907157.2 | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN113609687B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 苗政委;汤媛媛;魏凯;张雨东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G01B11/00;G01N21/21;G06F119/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 江亚平 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种椭偏仪实时测量结果优化方法，通过该方法各个波段的测量结果的可信度在单次测量中被估计出来，可以用于实时测量。该优化方法包括：根据双旋转补偿器式穆勒矩阵椭偏仪的结构图搭建出实验系统；测量椭偏仪的噪声组成及其噪声系数；使用测量一个完整周期，计算得到归一化傅里叶系数；用噪声模型和归一化傅里叶系数的测量结果，估算出测量结果的方差；计算出用于拟合优化算法的目标函数；使用拟合算法计算得到椭偏测量结果。通过该方法，可以有效提高椭偏仪测量精度。根据仿真分析，使用了该目标函数重复测量精度由19.6pm提升到了17.4pm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 椭偏仪 实时 测量 结果 优化 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所，未经中国科学院光电技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110907157.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
