[发明专利]一种洁净室的压力控制系统及方法在审
| 申请号： | 202110907915.0 | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN113639345A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 肖鹏;李相仁;洪波;肖莉;陈海丽 | 申请（专利权）人： | 浙江美阳国际工程设计有限公司 |
| 主分类号： | F24F3/167 | 分类号： | F24F3/167;F24F7/06;F24F11/64;F24F11/74;F24F11/89;F24F110/40 |
| 代理公司： | 杭州派肯专利代理有限公司 33414 | 代理人： | 郭薇 |
| 地址： | 310015 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种洁净室的压力控制系统及方法，该系统包括：洁净室及在所述洁净室内设置的工艺设备，所述洁净室的排风机组至少包括第一排风管和第二排风管；第一排风管设置有开环控制件，第二排风管设置有闭环控制组件；所述开环控制件使所述第一排风管排风量调整至预设值；当所述风机的工作对室内气压产生扰动时，所述闭环控制组件根据所述洁净室内的气压反馈信号，对所述第二排风管排风量进行调节，该调节结合所述预设值使得所述洁净室气压达到额定气压值；本发明通过开环控制件和闭环控制组件对第一排风管和第二排风管的排风量进行调节，使得洁净室内的压差处于允许值范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洁净室 压力 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
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