[发明专利]一种激光位移测量装置和方法有效
| 申请号： | 202110910775.2 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113358037B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 崔建军;张鹏;陈恺 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种激光位移测量装置和方法，包括：干涉测量模块、激光光源模块、信号调制模块、控制处理模块、光学游标解调模块；其中，控制处理模块控制信号调制模块给激光光源模块施加光源调制信号，使得激光光源模块提供给干涉测量模块两束固定频差的激光；控制处理模块控制干涉测量模块进行干涉测量，测量时激光在干涉测量模块中的两个Fabry‑Perot腔内分别进行干涉并分别被两个光电探测器探测形成主副测量干涉信号；光学游标解调模块对干涉测量模块得到的主副测量干涉信号进行解调，解调结果通过控制处理模块计算得到被测位移。本发明具有亚皮米级分辨力，能够用于位移的大量程高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 位移 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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