[发明专利]一种激光波长测量装置及方法有效
| 申请号： | 202110910784.1 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113607290B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 崔建军;张鹏;陈恺;康岩辉 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 北京盛询知识产权代理有限公司 11901 | 代理人： | 方亚兵 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种激光波长测量装置及方法包括:标准激光源、被测激光源、谐振平面镜、角锥反射镜、精密位移台、控制系统、解调系统、第一光电探测器、第二光电探测器；标准激光与被测激光平行送入到Fabry‑Perot腔内进行干涉，形成主副测量干涉光束，然后分别被两个光电探测器接收形成主副测量干涉信号，解调模块按照光学游标原理对其进行解调得到光学游标长度，再通过光学游标长度、标准激光波长与被测激光波长的关系，即可计算得到被测激光波长。本发明结构简单，操作方便，能能够实现大范围高精度的波长测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 波长 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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