[发明专利]一种基于外差干涉的气室温度控制系统有效
申请号: | 202110911201.7 | 申请日: | 2021-08-09 |
公开(公告)号: | CN113776686B | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
发明(设计)人: | 王卓;刘祀浔;袁琪;王瑞钢;庞昊颖;秦博东 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学 |
主分类号: | G01K11/00 | 分类号: | G01K11/00;G05D23/19 |
代理公司: | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人: | 吴小灿;朱亚娜 |
地址: | 100191*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种基于外差干涉的气室温度控制系统,通过使一束单色光在包含气室的光学系统中形成经过所述气室的第一合束光和不经过气室的第二合束光,以便利用第一合束光与第二合束光之间的光程差或相位差实现对气室温度的测量,从而以基于纯光场进行测温的方式减少单点测温带来的温度梯度,提高气室温度测量精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 外差 干涉 温度 控制系统 | ||
【主权项】:
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