[发明专利]毛刺修整机构以及抛光装置在审
| 申请号： | 202110912594.3 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113635169A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 秦俊 | 申请（专利权）人： | 江苏吉星新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/04 | 分类号： | B24B9/04;B24B29/02 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 吴瑛;岳永先 |
| 地址： | 212200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及去除毛刺技术领域，公开了一种毛刺修整机构以及抛光装置，所述毛刺修整机构包括基座以及设置于所述基座的毛刺修整体，所述毛刺修整体具有毛刺修整面，其中：所述基座设置为能够带动所述毛刺修整体在待修整面往复运动以使得所述毛刺修整面磨除所述待修整面的毛刺。通过在抛光装置中设置上述毛刺修整机构，可磨除抛光装置中的抛光盘的毛刺，由此大大减少了抛光盘对待抛光件如蓝宝石衬底晶片进行抛光作业时对待抛光件的划伤磨损。 | ||
| 搜索关键词： | 毛刺 修整 机构 以及 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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