[发明专利]实时检测薄膜裂纹间距的方法和装置有效
| 申请号： | 202110915135.0 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113686968B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 庞晓露;吴绍禹 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | G01N29/14 | 分类号： | G01N29/14;G01N29/44;G01B17/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 王学强;王兆赓 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 提供了一种实时检测薄膜裂纹间距的方法和装置。所述方法包括：准备至少两个由第一材料构成的基底，基底上形成有由第二材料构成的薄膜；将至少一个基底选作标准试样，其余基底选作待测试样；对标准试样执行第一加载并采集第一声发射信号和第一裂纹间距；基于第一声发射信号和第一裂纹间距生成预估模型；对待测试样执行第二加载并采集第二声发射信号；基于预估模型对第二声发射信号进行实时分析以获得待测试样的薄膜的预估裂纹间距，其中，第二加载的类型与第一加载的类型相同，薄膜的断裂韧性小于基底的断裂韧性。 | ||
| 搜索关键词： | 实时 检测 薄膜 裂纹 间距 方法 装置 | ||
【主权项】：
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