[发明专利]一种碲化锌粉末及其靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202110916079.2 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113416074A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 文崇斌;王英洁;朱刘;童培云 | 申请（专利权）人： | 广东先导稀材股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/515 | 分类号： | C04B35/515;C04B35/626;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 夏菁 |
| 地址： | 511500 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种碲化锌粉末的制备方法，包括以下步骤：将碲和锌分别置于气相沉积装置的加热区，使碲和锌不接触；对碲和锌分别进行加热，使二者进行气相反应，得到碲化锌粉末；具体的：对碲进行加热，控制温度从室温升温至1000～1050℃，升温时间70～100min；同时对锌进行加热，控制温度从室温升温至950～1000℃，升温时间70～100min。本发明通过气相反应直接制备得到了碲化锌粉末，其具有较高的纯度，可直接用于碲化锌靶材制备，得到的靶材相对密度大于98％，游离锌和游离碲小于200ppm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锌粉 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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