[发明专利]一种用于提升单晶生长速度的装置及方法在审
申请号: | 202110916238.9 | 申请日: | 2021-08-11 |
公开(公告)号: | CN113481591A | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 兰志勇;王军磊;王艺澄 | 申请(专利权)人: | 包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 周琪 |
地址: | 014010 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于提升单晶生长速度的装置,包括坩埚本体(1)、硅溶液(2)、导流筒(3)、水冷热屏(4)和单晶硅棒(5),水冷热屏(4)的主体内部设有循环管路(4a),循环管路(4a)的进口与进水管路(6)相连、出口与出水管路(7)相连;水冷热屏(4)的内表面设为散热面(4b),散热面(4b)上连接一组散热片(8),散热片(8)的宽度由上至下逐渐减小,散热片(8)的外侧(8a)与散热面(4b)相连、内侧(8b)正对着单晶硅棒(5)设置,且每个散热片(8)的内侧(8b)到单晶硅棒(5)的最短距离相同。本发明的优点是提高水冷热屏的散热效果,增强单晶硅棒生长速度,提升生产产量,节约成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 提升 生长 速度 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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