[发明专利]干式真空泵在审
| 申请号： | 202110920587.8 | 申请日： | 2021-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN113417852A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 沈文武;周忠贤 | 申请（专利权）人： | 四川莱斯特真空科技有限公司 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;F04C23/00;F04C28/00;F04C29/00;F04C29/12 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 杨勋 |
| 地址： | 610000 四川省成都市天府新区新*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的实施例提供了一种干式真空泵，涉及光伏半导体加工设备技术领域。干式真空泵包括壳体和两个一体式转子，壳体的内部开设有容置空腔，两个一体式转子转动安装在容置空腔内，两个一体式转子相互啮合，两个一体式转子用于同步反向转动，以排出容置空腔内的气体。干式真空泵的零件数量较少，减少加工难度，降低生产成本和装配难度，提升设备的性能和使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
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