[发明专利]一种晶元篮清洗装置在审
申请号: | 202110921870.2 | 申请日: | 2021-08-12 |
公开(公告)号: | CN113600585A | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 许子俊;马曾增;陈伟 | 申请(专利权)人: | 江苏中科晶元信息材料有限公司 |
主分类号: | B08B9/30 | 分类号: | B08B9/30;B08B9/36 |
代理公司: | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人: | 李宏伟 |
地址: | 215611 江苏省苏州市张家港市塘桥镇(江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种晶元篮清洗装置,一侧设有喷淋循环单元的机体,还包括毛刷驱动机构,所述喷淋循环单元包括设在机体外侧的喷淋循环槽,还包括设在所述机体内腔上方的喷淋组,所述喷淋循环槽出水口通过管道与喷淋组进水口连通连接,所述喷淋组内侧设有两端活动穿设在机体侧壁的毛刷组,所述毛刷组的内侧设有往复平移驱动机构,所述往复平移驱动机构的上表面设有装夹平台,所述装夹平台的上部设有工装夹具部件,所述毛刷组输入端与穿设在机体外壁的毛刷驱动机构输出端相连。该晶元篮清洗装置,本装置能够提高清洗效率和洁净度的同时,也对花篮齿根充分清洁,避免损坏花蓝,且对清洗水循环利用,具有显著的节水环保效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶元篮 清洗 装置 | ||
【主权项】:
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