[发明专利]电极结构的制造装置及其制造方法、触控面板在审

专利信息
申请号: 202110922134.9 申请日: 2021-08-11
公开(公告)号: CN113791702A 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 苏伟;胡守荣;叶宗和;董宇坤;张国良 申请(专利权)人: 深圳市志凌伟业光电有限公司
主分类号: G06F3/041 分类号: G06F3/041;G03F7/20
代理公司: 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 代理人: 杨培权
地址: 518000 广东省深圳市龙华区观澜街道大富*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种电极结构的制造装置及其制造方法、触控面板,该电极结构的制造方法包括在一导电基材上形成一感光材料层,采用第一掩膜版曝光感光材料层,更换第二掩膜版曝光经第一掩膜版曝光后的感光材料层,其中,第一掩膜版和第二掩膜版的遮光方向不同,处理感光材料层和导电基材,以形成电极结构。本发明技术方案通过第一掩膜版和第二掩膜版两次曝光,可以在感光材料层上叠加形成包含有尖角的图案,对应地,在对感光材料层和导电基材处理后,可以得到包含有尖角的电极结构,避免了电极结构上形成圆角,从而提高电极结构的透光率。
搜索关键词: 电极 结构 制造 装置 及其 方法 面板
【主权项】:
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