[发明专利]一种多层BMN介质薄膜材料及其制备方法

摘要

本发明涉及一种介质薄膜材料的制备方法,具体涉及一种具有低介电常数的多层介质薄膜材料的制备方法。本发明所述薄膜材料的分子式为Bi1.5MgNb1.5O7，其制备方法包括以下工艺步骤：前驱液A的制备，所述前驱液A为Nb5+溶液；前驱液B和前驱液C的制备，所述前驱液B为Bi3+溶液，所述前驱液C为Mg2+溶液；BMN薄膜的制备,制备BMN溶胶，然后将BMN溶胶作为原料在基片上沉积多层BMN薄膜，最终得到BMN多层介质薄膜材料。本发明所述的BMN介质薄膜材料的制备方法为溶胶凝胶法，制备工艺简单，过程无污染，生产成本较低，能显著提升其微波介电性能，具有广泛的应用前景。