[发明专利]一种中阶梯光栅拼接方法和系统有效
| 申请号： | 202110930520.2 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN113655614B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 糜小涛;李文昊;于宏柱;李逸凡;江思博;周敬萱;高键翔 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B7/00;G01J9/02;G01J9/00 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种中阶梯光栅拼接方法和系统，该系统采用了剪切干涉技术，当一束光照射到剪切板上，会在其前后两个面各产生一次反射，两束反射光之间会产生一个横向剪切量，重叠部分会产生干涉条纹。如果入射光由两束相邻且近似平行的光束组成，则干涉区域会分为三个区域。两束光的相对预定方位会影响中间区域的条纹模式，因而本发明通过测量干涉条纹对应的周期和旋转判断误差种类，并定量计算误差数值后对误差进行校准，实现光栅严格拼接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阶梯 光栅 拼接 方法 系统 | ||
【主权项】：
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