[发明专利]一种空间光场振幅及相位复合调制系统、方法及其检测系统在审
| 申请号： | 202110930694.9 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN113671803A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 赵圆圆;吴志财;陈经涛;段宣明 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/01;G01M11/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明为克服空间光调制仅对光场的单一信息振幅或者相位进行空间调制，光刻分辨率较低的缺陷，提出一种空间光场振幅及相位复合调制系统、方法及其检测系统，其中空间光场振幅及相位复合调制系统包括振幅型空间光调制器、像元匹配光学系统和相位型空间光调制器，振幅型空间光调制器对输入光场进行像素化振幅调制，再通过像元匹配光学系统对图像光场进行位置调整，使图像光场与所述相位型空间光调制器中的空间像素位置一一对应，再输入所述相位型空间光调制器中，相位型空间光调制器对输入的经过振幅调制的图像光场中对应像素进行相位调制，输出光场为相位、振幅独立调制的图案化光场，实现空间光场振幅和相位信息像素化、多自由度、独立的调制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空间 振幅 相位 复合 调制 系统 方法 及其 检测 | ||
【主权项】：
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