[发明专利]一种用于卷绕镀膜设备的移动式挡板系统

摘要

本发明公开了一种用于卷绕镀膜设备的移动式挡板系统，主要包括移动挡板、竖直移动机构、横向移动机构和清洗模块；移动式挡板系统位于卷绕镀膜设备的真空室内；移动挡板在竖直移动机构和横向移动机构的作用下分别进行竖直方向上的移动和横向移动，移动至镀膜遮挡相位、蒸发源屏蔽相位或清洗相位；清洗模块位于移动挡板的下方，清洗模块的清洗作用面为内凹的弧形曲面；移动挡板处于清洗相位时，清洗模块对移动挡板进行真空环境下的在线清洗。移动式挡板系统通过使移动挡板在不同相位之间的移动，在控制系统的控制下实现镀膜遮挡、蒸发源屏蔽及在线清洗等不同功能的切换，可实现卷绕镀膜设备日常维护的智能化和自动化。