[发明专利]一种含三级位移放大机构的探针微进给平台及工作方法在审
| 申请号： | 202110942119.0 | 申请日： | 2021-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN113659867A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 郭志永;曹轶然;张志强;路学成;张天刚 | 申请（专利权）人： | 中国民航大学 |
| 主分类号： | H02N2/02 | 分类号： | H02N2/02;H02N2/04;H02N2/06 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 许爱文 |
| 地址： | 300300 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明属于探针微进给平台技术领域，尤其涉及一种含三级位移放大机构的探针微进给平台及工作方法。包括基座Ⅰ、基座Ⅱ、压电陶瓷、双平行板导向机构和柔性位移放大机构；压电陶瓷设在基座Ⅰ内侧中心处，压电陶瓷下方设有螺纹连接为一体的盖形螺母和预紧螺栓，压电陶瓷的下端与盖形螺母的球面接触；预紧螺栓下方与基座Ⅱ的顶部接触；双平行板导向机构包括位于压电陶瓷顶部的输入块，双平行板导向机构的左右两侧与基座Ⅰ连接；双平行板导向机构沿压电陶瓷轴向产生的变形，将压电陶瓷压紧在输入块下；柔性位移放大机构包括左右对称布置的SR机构、杠杆机构与双Z型机构，扩大了压电陶瓷输出位移，实现了探针安装台的大行程平移进给。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三级 位移 放大 机构 探针 进给 平台 工作 方法 | ||
【主权项】：
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