[发明专利]表面形貌测量系统在审
| 申请号： | 202110947943.5 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN113670226A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | J.罗哈利;E.H.阿德尔森 | 申请（专利权）人： | 胶视公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 郭美琪;周学斌 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 形貌测量系统使用成像盒，该成像盒由刚性光学元件和清澈的弹性感测表面形成，该感测表面被配置成从测量表面捕获高分辨率的形貌数据。成像盒可以被配置为系统的可移除的盒，使得包括刚性光学元件和弹性感测表面的成像盒可以作为单个整体组件而被移除和更换，该组件在在多次使用期间是鲁棒/稳定的，并且在需要或期望时是可容易地由用户更换的。该盒还可以有用地结合多个光成形和其他特征以支持最佳照明和图像捕获。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 形貌 测量 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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