[发明专利]一种大行程二维压电定位台有效
| 申请号： | 202110948467.9 | 申请日： | 2021-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN113676078B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 潘巧生;汪权;陈立蔚;李英豪;黄梓良;李瑞君;张连生;黄强先 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | H02N2/04 | 分类号： | H02N2/04 |
| 代理公司： | 合肥金安专利事务所(普通合伙企业) 34114 | 代理人： | 金惠贞 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大行程和大有效行程面积比的二维压电定位台，属于压电驱动技术领域。包括底板、压电定位台、载物平台和预紧机构；预紧机构包括第一预紧机构和第二预紧机构，分别设于与两个位移放大机构的压电定位台对应侧边的底板上；压电定位台包括载物平台框架、第一位移放大机构、第一解耦机构、第二位移放大机构和第二解耦机构；第一位移放大机构和第一解耦机构为一组实现所述压电定位台在Y方向的位移输出，第二位移放大机构和第二解耦机构为一组实现压电定位台在X方向的位移输出。本发明通过两个位移放大机构的结构设计，使整体放大比达到14.4；通过调整两个解耦机构的机械机构参数，使压电定位台在X方向和Y方向的耦合误差降低至0.35%。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 行程 二维 压电 定位 | ||
【主权项】：
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