[发明专利]一种靶材制备电动辅助装置在审
| 申请号： | 202110950186.7 | 申请日： | 2021-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN113463047A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 温振杰;谭继军;陈志杰 | 申请（专利权）人： | 广东先导稀材股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;管莹 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及旋转靶材制备技术领域，公开了一种靶材制备电动辅助装置，其包括机架以及设于机架上的直线导轨和安装座，直线导轨竖直设置，直线导轨上设有可沿其滑动的滑块，安装座包括顶座和底座，其中顶座与滑块固定连接，顶座上设有插拔气缸，底座上则设有与插拔气缸的输出轴相连接的推拉杆，底座上还设有旋转电机和旋转盘，旋转电机与旋转盘传动连接，旋转盘上设有四根竖直设置的插杆。与现有技术相比，该靶材制备电动辅助装置能够代替人工实现插杆的转动和上下运动，结构简单可靠、易于操作；插杆的转动与上下运动均受到控制，与人工操作相比施工精度更高，避免了插杆剐蹭模具内壁，提升了产品的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 电动 辅助 装置 | ||
【主权项】：
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