[发明专利]喷涂制备微纳多级自补偿结构及其柔性压力传感器有效
申请号: | 202110950915.9 | 申请日: | 2021-08-18 |
公开(公告)号: | CN113649252B | 公开(公告)日: | 2022-12-27 |
发明(设计)人: | 杨俊 | 申请(专利权)人: | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
主分类号: | B05D7/24 | 分类号: | B05D7/24;B05D7/00;B05D1/02;B05D1/04;B05D1/36;B82Y40/00;G01L1/20;G01L9/02 |
代理公司: | 北京元本知识产权代理事务所(普通合伙) 11308 | 代理人: | 金海荣 |
地址: | 400714 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 喷涂制备微纳多级自补偿结构及其柔性压力传感器。本发明属于力敏器件制备技术领域,具体涉及一种基于喷涂制备的微纳多级自补偿结构及其应用。所述微纳多级自补偿结构的制备方法包括:使用石墨烯浆料一次喷涂于衬底上,然后使用碳纳米管浆料和/或炭黑浆料和/或石墨烯浆料进行二次喷涂得所述微纳多级自补偿结构。该微纳多级自补偿结构设计自由度高,可以适用各种粗糙或不粗糙柔性的衬底,而且由该微纳多级自补偿结构设计的压力传感器灵敏度高,量程大。 | ||
搜索关键词: | 喷涂 制备 多级 补偿 结构 及其 柔性 压力传感器 | ||
【主权项】:
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