[发明专利]一种镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层在审
| 申请号： | 202110952851.6 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113667931A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 王博;王诗阳;南勋 | 申请（专利权）人： | 嘉兴鸷锐新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/02;C23C14/35;B23B27/14 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 | 代理人： | 许佳 |
| 地址： | 314032 浙江省嘉兴市秀*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层，属于刀具涂层制造技术领域。具体的涂层成分含3～8mol.％的镧系稀土氧化物，其中镧系稀土元素均匀分布在涂层中。制备过程包括将经过离子刻蚀的基材置于真空室中，安装钛源靶材、硅源靶材以及稀土氧化物靶材，氮气环境下，通过磁控溅射法进行镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层的沉积。本发明提供的镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层，镧系稀土氧化物与Ti，Si，N元素相容性高，可以被用做耐高温涂层的增强、增韧添加剂，可显著提高涂层的耐高温能力，并且可以在物理气相沉积设备中一次性完成，不需要增添额外步骤，主要原料均为工业常用元素，具有成本低的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稀土 氧化物 复合 tisin 涂层 | ||
【主权项】：
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