[发明专利]基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统在审
| 申请号： | 202110955603.7 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113624457A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 董俊;马冬;何俊明;马凡;徐盼盼;姜铭坤;黄小文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院;安徽中科德技智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙) 34125 | 代理人： | 李璐 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光学衍射的薄膜均匀性检测系统，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；所述成像单元用于产生衍射光条纹图像，依次包括光源、滤光片和滚筒，光源发出光线经过滤光片来进行光源光强和波长调节，再经过滚筒和安放在载物台上的滚轮之间缝隙得到衍射光条纹图像；所述采集单元包括载物台和多个线阵相机，用于采集所述条纹图像，并进行多相机标定；所述处理单元用于采用预设的薄膜均匀性检测模型对所述条纹图像进行识别，检测所述条纹图像是否发生畸变，从而实现薄膜均匀一致性判别。本发明能够更加高效地对柔性薄膜均匀性进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光学 衍射 薄膜 均匀 检测 系统 | ||
【主权项】：
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