[发明专利]一种硅棒切割装置及硅棒切割方法有效
申请号: | 202110957206.3 | 申请日: | 2021-08-19 |
公开(公告)号: | CN113650181B | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 王立;苏赓;娄和强;陈明一 | 申请(专利权)人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D5/00 |
代理公司: | 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 | 代理人: | 王乾旭;赵红凯 |
地址: | 266114 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本申请实施例提供了一种硅棒切割装置及硅棒切割方法。硅棒切割装置,包括:机座;承载装置,安装于所述机座,用于固定硅棒,所述承载装置用于承载硅棒位置的形状与硅棒外表面的形状相配合;线切割装置,安装于所述机座,所述承载装置和所述线切割装置能够相对做直线运动;其中,在所述承载装置和所述线切割装置相对直线运动过程中,所述线切割装置的切割线用于从硅棒的一端端面切割到另一端端面。硅棒切割方法,使用上述硅棒切割装置对端面为弧形的硅棒进行切割。本申请实施例解决了传统的硅棒切割装置是以圆柱形的硅棒为原料的装置,无法适用于端面为弧形的硅棒的切割的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 切割 装置 方法 | ||
【主权项】:
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