[发明专利]一种碳化VAlN硬质固体润滑涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202110959263.5 | 申请日： | 2021-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN113699498B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 柯培玲;张玉鹏;汪爱英;王振玉;张栋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/58 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳化VAlN硬质固体润滑涂层，包括基体，过渡层，VAlN层和非晶碳层，所述过渡层形成于基体表面，所述VAlN层形成于过渡层表面，所述非晶碳层形成于VAlN层表面，所述VAlN层中V元素含量为25‑30％，Al元素含量为28‑32％，N元素含量为40‑45％。该涂层在宽温域下具有较好的耐磨，润滑，防腐作用。本发明还公开了一种碳化VAlN硬质固体润滑涂层的制备方法，该制备方法通过热处理工艺将非晶涂层较为稳定的附着在VAlN层上，从而达到宽温域下较高润滑性和耐磨性的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化 valn 硬质 固体 润滑 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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