[发明专利]一种薄膜电光调制器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110961560.3 | 申请日： | 2021-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN113641011B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 尹志军;倪荣萍;吴剑波;叶志霖;李胜雨;张虞;许志城 | 申请（专利权）人： | 南京南智先进光电集成技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/035;G02B6/122 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种薄膜电光调制器，所述薄膜电光调制器包括衬底层(1)、压电薄膜层(3)和格栅电极层(4)，其中，所述压电薄膜层(3)的一侧形成脊型波导(6)，并且，所述脊型波导(6)与所述格栅电极层(4)分居所述压电薄膜层(3)的两侧，从而能够在所述压电薄膜层(3)上进行二次刻蚀，使得所述脊型波导(6)对光波具有更强的束缚能力，从而减少信号损耗。本申请还提供一种制备所述薄膜电光调制器的方法，所述方法基于价格低廉的无衬底的压电晶圆进行制备，使用主要成分为二氧化硅的釉料作为粘结剂连接压电薄膜层(3)与衬底层(1)，从而突破传统工艺和成本的限制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 电光 调制器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京南智先进光电集成技术研究院有限公司，未经南京南智先进光电集成技术研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110961560.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：EGR阀温度传感器
- 下一篇：文档结构化方法、装置、电子设备和存储介质
