[发明专利]基于肖特基接触的双层硅基光电突触器件及制备方法

摘要

本发明提供一种基于肖特基接触的双层硅基光电突触器件及制备方法，从上至下具有透明顶电极、硅基非晶薄膜功能层、非晶硅钌薄膜功能层、透明底电极的垂直三明治结构；非晶硅钌薄膜功能层为光敏层，用于吸收可见光到近红外光范围内的光子；硅基非晶薄膜功能层与非晶硅钌薄膜功能层构成肖特基势垒；器件以不同波长的光信号模拟视觉突触前端的动作电位，以器件的光响应电流模拟突触后电流，通过电读取的方式，在可见光到近红外光谱范围内实现多项视觉神经突触可塑性，进而实现学习、记忆和颜色识别的仿生视觉突触功能。本发明所述光电突触器件具有较宽的工作带宽，有望在神经形态芯片以及未来智能机器人视觉系统中获得应用。