[发明专利]一种提升靶材利用率的方法在审
| 申请号： | 202110963009.2 | 申请日： | 2021-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN113774338A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 陈加柱;龚文广;罗勇;杨红军;陈明辉;张世洪 | 申请（专利权）人： | 厦门建霖健康家居股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人： | 郭福利 |
| 地址： | 361021 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种提升靶材利用率的方法，包括如下步骤：(1)将废旧靶材加工至所需要尺寸；(2)将加工后的废旧靶材套设于特殊材料辅助垫高件的一端；(3)将所述特殊材料辅助垫高件的另一端连接至靶材座，形成新的真空镀膜靶材；(4)对新的真空镀膜靶材进行导热性以及导电性测试。本发明提供了一种提升靶材利用率的方法，利用废旧靶材、特殊材料靶材辅助垫高件以及靶材座，实现废旧靶材的重复利用，从而提高靶材的利用率，能够有效地提高靶材利用率，降低采购靶材频次，减少因更换靶材而导致的镀膜成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提升 利用率 方法 | ||
【主权项】：
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