[发明专利]基于线结构光的薄膜均匀性检测系统在审
| 申请号： | 202110964551.X | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113624461A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 董俊;马冬;何俊明;马凡;徐盼盼;姜铭坤;黄小文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院;安徽中科德技智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙) 34125 | 代理人： | 李璐 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于线结构光的薄膜均匀性检测系统，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；所述成像单元用于产生网格图像，依次包括光源、滤光片和网格衍射光栅，光源发出光线经过滤光片来进行光源光强和波长调节，再经过网格衍射光栅后进行衍射分光，形成连续的网格光斑投射到薄膜被测区域；所述采集单元包括载物台和多个线阵相机，用于采集所述网格图像，并进行多相机标定；所述处理单元用于采用预设的薄膜均匀性检测模型对所述网格图像进行识别，检测所述网格图像是否发生畸变，从而实现薄膜均匀一致性判别。本发明能够解决现有采集表面反光薄膜图像孤立噪声点多的问题，实现薄膜表面的均匀性检测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 结构 薄膜 均匀 检测 系统 | ||
【主权项】：
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