[发明专利]一种电容式微机械超声换能器的工艺制造方法在审
| 申请号： | 202110968958.X | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN113800465A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 高铁成;张兆琦;李文广;胡稼伟;闫梦圆;宋子琛;杨凯 | 申请（专利权）人： | 天津工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京思格颂知识产权代理有限公司 11635 | 代理人： | 杨超 |
| 地址： | 300387 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电容式超声换能器工艺制造方法，包括：在基板上表面涂覆牺牲层全涂层；在牺牲层全涂层上表面涂覆掩蔽层全涂层并进行图案化，形成掩蔽层；将基板浸入显影剂中蚀刻牺牲层全涂层和掩蔽层暴露区域；将基板浸入有机溶剂中去除所有掩蔽层，形成牺牲层图案，牺牲层包括位于中部的空腔、十字形交叉牺牲通道以及四个牺牲通道孔；在牺牲层上表面涂覆具有绝缘性能的振膜层全涂层并进行图案化，形成振膜层；在所述振膜层上表面涂覆剥离层全涂层并进行图案化，形成剥离层；在剥离层上表面蒸发金属层全涂层；制作上电极；释放牺牲层形成空腔；形成密封层，得到电容式微机械超声换能器完整振元。本发明同时提供采用上述方法制备的振元。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 式微 机械 超声 换能器 工艺 制造 方法 | ||
【主权项】：
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