[发明专利]一种桁架结构尺寸稳定性测量装置有效
| 申请号： | 202110969853.6 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN113720269B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 孙宝龙;薛闯;叶露 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 陈新英 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种桁架结构尺寸稳定性测量装置，包括隔振平台、待测板框、基准板框、激光器、测量镜组件和分光系统；待测板框和基准板框平行且相对布置，隔振平台分别与待测板框、基准板垂直固定连接；激光器入射分光系统提供初始激光束；分光系统设置在隔振平台和基准板框上，测量镜组件设置在待测板框上，分光系统设置有九个测量光路，测量镜组件设置有与测量光路一一对应的九个干涉计和九个测量镜；初始激光束被九个测量光路平分为能量相等的子光束，子光束经过干涉计和测量镜，使得测量镜组件测量出待测板框的六个自由度数值。本发明解决了测量精度低及操作复杂且同步性很难保证的技术问题，有非接触测量、精度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 桁架 结构 尺寸 稳定性 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110969853.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
