[发明专利]高致密细晶粒的氧化锌掺杂氧化锡基陶瓷靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202110970900.9 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN113563063B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 陈杰;淮志远;孙本双;何季麟 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C04B35/457;C04B35/622;C04B35/638;C04B35/64 |
| 代理公司： | 北京卫智易创专利代理事务所(普通合伙) 16015 | 代理人： | 朱春野 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 高致密细晶粒氧化锌掺杂氧化锡基陶瓷靶材的制备方法，包括：(1)氧化锡粉体、氧化锌粉体以质量比60～65:35～40混合，加入聚丙烯酸铵作为分散剂，并加入水，形成原料混合物；(2)原料混合物在球磨机上进行球磨；(3)球磨后的混合浆体在砂磨机上进行砂磨；(4)砂磨后的混合浆体中加入粘结剂，搅拌均匀；(5)搅拌均匀的混合浆体进行喷雾干燥，得到球形混合造粒粉；(6)混合造粒粉进行模压成型，得到原始靶材素坯；(7)原始靶材素坯进行冷等静压成型，得到高强度、高密度的均匀靶材素坯；(8)均匀靶材素坯进行脱脂、烧结一体化无压烧结，得到高致密细晶粒氧化锌掺杂氧化锡陶瓷靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 致密 晶粒 氧化锌 掺杂 氧化 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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