[发明专利]一种用于光学散射的库匹配方法、系统、服务器及存储介质有效
| 申请号： | 202110972428.2 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN113566739B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 马骏;张厚道;史玉托;李伟奇;郭春付;陶泽 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/22;G01B11/02;G01B11/00 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 赵红万 |
| 地址： | 201700 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于光学散射的库匹配方法、系统、服务器及可读存储介质，本发明通过针对待测目标建立理论光谱库，设置形貌参数的名义值，而后对形貌参数理论光谱库插值，得到所述形貌参数名义值对应的插值理论光谱，并通过测量得到测量光谱，计算测量光谱与理论光谱的偏差值，偏差值不满足阈值条件时，对所述形貌参数名义值进行更新，直至偏差值满足阈值条件，实现了在不影响提取准确度的情况下提高提取速度，解决了现有技术中存在的提取速度慢、提取准确度低的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光学 散射 匹配 方法 系统 服务器 存储 介质 | ||
【主权项】：
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