[发明专利]一种颗粒硅直接用于区熔法制备单晶硅的装置及方法在审
申请号: | 202110978491.7 | 申请日: | 2021-08-24 |
公开(公告)号: | CN113668045A | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | 马新星;王军磊;王艺澄 | 申请(专利权)人: | 包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技有限公司 |
主分类号: | C30B13/08 | 分类号: | C30B13/08;C30B13/00;C30B29/06 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 任立 |
地址: | 014010 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明公开了一种颗粒硅直接用于区熔法制备单晶硅的装置,包括炉室及加料装置,炉室内设保温层,炉室的顶部设有进料管,进料管的下端设有加料筒,加料筒内设有颗粒硅,漏斗式的加料筒的下端环绕感应线圈,感应线圈使加料筒下端熔化形成熔融区,炉室底部设置有主轴,主轴内设有中轴,中轴的顶部设有籽晶;加料装置包括颗粒硅料筒、石英料管、进料管道及阀门,颗粒硅料筒内放置颗粒硅,颗粒硅料筒上端的一侧设有保护气体入口,另一侧设有排气口,石英料管上通过进料管道及阀门与炉室中的进料管连接;还涉及一种颗粒硅直接用于区熔法制备单晶硅的方法,该装置结构简单,能够实现以颗粒硅为原料直接进行区熔法制备单晶硅的生产,大大降低的原料成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 颗粒 直接 用于 法制 单晶硅 装置 方法 | ||
【主权项】:
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