[发明专利]光纤加速度传感器及光纤加速度传感器的形成方法在审
| 申请号： | 202110983827.9 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN115728512A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 钟少龙;龙亮;郭智慧 | 申请（专利权）人： | 上海拜安传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光纤加速度传感器及其形成方法，结构包括：敏感结构，敏感结构包括惯性质量块、环绕惯性质量块的第一支撑部以及固定连接第一支撑部和惯性质量块的弹性梁结构，弹性梁结构包括若干第一弹性层和若干第二弹性层，第一弹性层和第二弹性层在第一面的投影不重合；位于第一支撑部第一面上的支撑结构；位于惯性质量块第一面表面的第一反射层；与支撑结构键合的光纤结构，光纤结构包括固定结构以及位于固定结构内的准直扩束光纤，准直扩束光纤位于固定结构的槽内；位于光纤结构表面的第二反射层，第一反射层、第二反射层和准直扩束光纤在垂直于惯性质量块表面的方向上的中轴线与惯性质量块的中轴线重合。所述光纤加速度传感器的性能得到改善。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 加速度 传感器 形成 方法 | ||
【主权项】：
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