[发明专利]一种基于高温离子辐照制备梯度结构非晶薄膜的方法有效
| 申请号： | 202110984609.7 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN113718200B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 黄平;王飞;黄丽 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/58;C23C14/35;C22F3/00;C22C45/10 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 王艾华 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于高温离子辐照制备梯度结构非晶薄膜的方法，在采用磁控溅射镀制的高质量非晶薄膜的基础上，辅以高温离子辐照处理，使样品表面发生晶化而内部保持非晶结构，从而制备出具有梯度结构的高强度、高塑性的非晶薄膜。本发明制备的梯度非晶薄膜结构很容易通过控制离子辐照实验的温度和注入剂量来实现，从而为制备可控的高力学性能的非晶薄膜材料提供可能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 高温 离子 辐照 制备 梯度 结构 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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