[发明专利]一种自动匹配式芯片灵敏度测试装置及方法在审

专利信息
申请号: 202110985997.0 申请日: 2021-08-26
公开(公告)号: CN113671352A 公开(公告)日: 2021-11-19
发明(设计)人: 朱小炜;张力天;姜祁峰;丁立业;高波;马春宇;王玉如 申请(专利权)人: 上海集成电路技术与产业促进中心
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28
代理公司: 合肥云道尔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34230 代理人: 陈兰
地址: 200000 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种自动匹配式芯片灵敏度测试装置及方法,涉及芯片测试领域,包括矢量网络分析仪、传输线缆、阻抗调配器、控制电脑,所述矢量网络分析仪通过传输线缆与阻抗调配器连接,所述阻抗调配器通过第一网线与控制电脑通信连接,所述控制电脑通过第二网线与所述矢量网络分析仪通信连接,所述阻抗调配器接到被测样品上。本发明取代了使用手动焊接电容匹配电路的估计测量灵敏度方式,也无需通过测量阻抗去做匹配电路,本发明提高了芯片灵敏度测量得准确性,而且省了尝试焊接匹配得时间。
搜索关键词: 一种 自动 匹配 芯片 灵敏度 测试 装置 方法
【主权项】:
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