[发明专利]描画装置在审
| 申请号： | 202110987294.1 | 申请日： | 2021-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN114253085A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 藤田雄也;原望;福田浩士;早川直人 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 宋晓宝;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种描画装置。第一移动机构(22a)在图案描画部(4)的下方在Y方向上水平移动第一载物台(21a)。第二移动机构(22b)在图案描画部(4)的下方在Y方向上水平移动第二载物台(21b)。第二移动机构(22b)在X方向上与第一移动机构(22a)并排配置。框架(7)支撑第一移动机构(22a)和第二移动机构(22b)。配重(51)在与基板移动方向交叉的X方向上可移动地安装于框架(7)。配重移动控制部基于Y方向上的第一载物台(21a)和第二载物台(21b)的位置控制配重移动机构(52)，使得配重(51)配置于抑制因第一载物台(21a)和第二载物台(21b)的重量导致的框架(7)的变形的位置。由此，能够高精度地进行对基板(9)的描画。 | ||
| 搜索关键词： | 描画 装置 | ||
【主权项】：
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