[发明专利]MEMS全解耦陀螺仪有效
| 申请号： | 202110989632.5 | 申请日： | 2021-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN113686325B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 吴国强;吴忠烨;陈文;韩金钊;杨尚书 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 肖明洲 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS全解耦陀螺仪。MEMES全解耦陀螺仪为音叉式陀螺结构，包含检测框、两个质量块、至少四个固定锚点、四组驱动电极、四组感应电极，一级弹性连接梁、二级弹性连接梁、三级弹性连接梁、解耦弹性连接梁和耦合弹性连接梁。该陀螺仪其驱动模态为两个质量块相对于检测框面内反向振荡运动，感应模态为整体结构面内旋转运动。该陀螺仪驱动模态和检测模态之间实现了全解耦。所提出的结构可有效抑制由加工误差所引起正交耦合误差和降低外界振动和冲击所引起的误差，从而提高MEMS陀螺仪的精度和性能。 | ||
| 搜索关键词： | mems 全解耦 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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